Page 1 sur 2

MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:01
par Pascal03
Pour faire suite à la question de Fred ( http://www.lenaturaliste.net/forum/view ... 2&start=40 ), un petit point sur les microscopes électroniques à Balayage et les techniques d'analyses que l'on peut pratiquer avec.

Le Spectre EDS, c'est avec un microscope électronique à balayage.
Le principe est le suivant : on sélectionne un point sur lequel on va procéder à l'analyse.
Le canon à électrons du microscope va bombarder ce point avec une énergie croissante. pour une énergie donnée un échantillon va émettre des rayons X si certains éléments sont présents. par exemple dans le spectre précédent l'échantillon a émis des rayons X à 6,4 KeV, ce qui est caractéristique du fer.
PC3301.jpg
PC3301.jpg (19.09 Kio) Vu 7502 fois
en abscisse on a l'énergie en KeV, et en ordonnée la réponse du spécimen. On obtient une composition chimique, et leurs proportions relatives en première approximation (l'EDS est semi-quantitatif)

Auparavant, il fallait que les échantillons examinés au MEB soient conducteurs de l'électricité (que ce soit pour l'EDS ou pour la simple observation), pour permettre l'écoulement des électrons vers l'anode. il fallait les métalliser (les recouvrir sous vide d'une couche nanométrique de carbone ou d'or). Aujourd'hui on a des MEBs "environnementaux". on laisse un peu d'air dans la chambre (typiquement de l'ordre de 30Pa) qui va permettre la conduction des électrons.

La microsonde fonctionne sur le même principe, sauf que les échantillons doivent être inclus dans la résine, polis (poli miroir) et métallisés. la microsonde est équipée non pas de un, mais de 4 à 6 détecteurs EDS travaillant chacuns sur une bande étroite du spectre. elle doit être calibrée avec des étalons avant chaque série d'analyses. sa précision est de l'ordre de 0,01%

Pascal

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:07
par Pascal03
Voici un post que j'avais fait sur un autre Forum

C'était le 18 février 2012

Ce matin d'hiver, donc, avec Cici nous avons rendez vous à Clermont-Ferrand, au 5 rue Kessler, au "Laboratoire Magmas et Volcans" de l'université Blaise Pascal.
ZM, qui travaille le matin, nous rejoindra avec Fabien dans le courant de l'après midi.

Nous y attendent Bertrand Devouard et Etienne Medard.

Le but de la visite, passer au MEB une série d'échantillons à analyser, dans le cadre de la préparation d'un article sur le Crozet, article à paraître dans la revue "Le règne Minéral"

Bertrand, très pédagogue, fait la présentation du matériel :
dsc_3275-37021b0.jpg
dsc_3275-37021b0.jpg (99.89 Kio) Vu 7488 fois
Nous avons ici une vue d'ensemble du MEB. la chambre du microscope, au dessus la colonne qui émet et accélère les électrons, à l'arrière la bonbonne d'azote liquide, destinée à refroidir la diode d'analyse EDS.

Vue de l'intérieur de la chambre :
meb-37021f3.jpg
meb-37021f3.jpg (77.92 Kio) Vu 7491 fois
Le détecteur auxiliaire sert pour la cathodoluminescence.

Ici, une autre machine, basée sur le même principe :
copie-de-dsc_3280-370224d.jpg
copie-de-dsc_3280-370224d.jpg (67.07 Kio) Vu 7516 fois
Il s'agit ici d'une microsonde. elle sert à réaliser des analyses quantitatives précises. elle fonctionne sur le même principe que le MEB, mais les échantillons doivent présenter une section polie et être revêtus d'une très fine couche - quelques nanomètres - de carbone (ou d'or) afin de les rendre conducteurs de l'électricité

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:09
par Pascal03
Le MEB, c'est quoi ?

un faisceau d'électrons balaye un échantillon, placé dans une chambre sous vide d'air.
cet échantillon va renvoyer plusieurs types d'électrons qui seront récupérés par un capteur. Il y en a plusieurs types, qui serviront à recréer une image : ceux qui rebondissent, ceux qui sont réémis par l'échantillon après pénétration des électrons primaires (électrons rétrodiffusés).
ceux qui rebondissent et les rétrodiffusés ont des niveaux d'énergie différents, ce qui permet de les différencier au niveau des capteurs embarqués..

le MEB envoie un faisceau d'électrons primaire, et son capteur d'image est sensible aux électrons secondaires. il attaque l'accélérateur d'un tube cathodique (un téléviseur) qui balaye un écran , ceci de façon synchrone avec le balayage du faisceau d'électrons. cela recrée une vue détaillée du relief de l'échantillon
(y'a plus de tube cathodique aujourd'hui, c'est informatisé - mais le principe reste le même)

il en résulte une image monochrome : une surface qui tourne le dos au capteur ressortira plus sombre que la même surface orientée de front.
Pour se faire une bonne idée du principe du MEB, il suffit de placer un bout de papier alu sur une pièce de monnaie, et de la frotter du dos d'un ongle. l'alu, comme le MEB, enregistrera un relief.

deuxièmement, une surface contenant des éléments lourds rétrodiffusera plus d'électrons : les luminosités "de visu" seront faussées. prenons l'exemple d'une calcite (blanche ) sur galène (gris-noire)
La calcite ne contient que des éléments légers, et ne renverra (rétrodiffusera) que peu d'électrons : elle ressortira gris-sombre
alors que la galène, riche en plomb, rétrodiffusera beaucoup d'électrons, et ressortira très claire.

Deuxième application :

A une tension d'accélération donnée du faisceau d'électrons, tel élément emmétra des rayons X, et ce d'autant plus qu'il est présent en quantité.
c'est la base de l'analyse EDS : le capteur EDS recueille les rayons X émis.

Exemple :
montmins-3799-barytine-eds-3702315.jpg
montmins-3799-barytine-eds-3702315.jpg (19.87 Kio) Vu 7514 fois
On voit ici en mauve les pics d'émission du Baryum, en turquoise celui du soufre, en vert celui de l'oxygène. en turquoise également celui du silicium.

Etc.... pour tous les éléments.

PROBLEMES :

Les éléments légers sont mal ou très peu (voire pas du tout) détectés : le pic du carbone est souvent très petit, alors que cet élément peut être dominant dans la composition chimique. on ne peut détecter qu'à partir du Bore. Hydrogène, hélium et beryllium restent invisibles.
Le pic du plomb (quand cet élément est présent) masque beaucoup d'éléments, dont le soufre, le bismuth, le molybdène, et... : gros problèmes quand on a affaire à des sulfates de plomb, ou à des sulfosels.
Par exemple, c'est très difficile de faire la différence entre une leadhillite (plomb, sulfate, carbonate) et une hydrocerusite (plomb, carbonate) surtout si le carbone n'est pas très évident.


Quand, comme ici, les spécimens sont nichés au creux d'une géode, on ne peut pas savoir si les éléments détectés sont ceux contenus par le minéral analysé, ou ceux contenus par l'environnement. les électrons qui rebondissent vont aller exciter le minéraux environnants et polluer l'analyse : Ici, si le silicium est bien détecté, mais il fait partie de la gangue et n'entre pas dans la composition du minéral analysé (barytine)
Noter à gauche du silicium un pic non caractérisé : c'est celui de l'aluminium. cet élément pollue aussi les analyses car tous les échantillons à analyser sont calés par du papier alu, dans un plateau conducteur de l'électricité

C'est impératif pour éviter les accumulation d'électrons qui ne retrouvent pas l'anode. jusqu'au années 80-90 les échantillons devaient d'ailleurs être métallisés (= recouverts d'une pellicule d'atomes d'or ou de carbone, comme pour la microsonde) pour être rendus conducteurs - sinon ça ne marchait pas
Aujourd'hui on peut travailler en "low-vaccum" (= basse pression) : on ne fait plus le vide total (ou presque total), on laisse une faible quantité de gaz qui va aider les électrons à circuler jusqu'à l'anode.

ça a d'ailleurs pour inconvénient de rendre encore moins précise la focalisation du faisceau d'électrons, et donc moins précise l'analyse quantitative.
ça influe également au niveau de la définition de l'image : on peut difficilement dépasser des grossissements de quelques milliers de fois, alors que la machine est capable de beaucoup plus.

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:13
par Pascal03
Le déroulé de l'analyse :

Les échantillons sont préparés dans un plateau conducteur de l'électricité (ici un plateau en plastique recouvert d'aluminium). et calés avec du papier alu.
plateau-1a-r-duit-370247b.jpg
plateau-1a-r-duit-370247b.jpg (251.67 Kio) Vu 7514 fois
Le plateau est photographié, et tous les échantillons sont repérés. sans ça c'est très difficile de retrouver le bon cristal une fois le plateau dans le MEB.
En effet au grossissement mini on cadre un champ de 3mm, et on voit en noir et blanc avec des luminosités faussées.
plateau-1a-crop-370249d.jpg
plateau-1a-crop-370249d.jpg (98.82 Kio) Vu 7511 fois
Pour assister les déplacements du plateau dans la chambre du MEB, on a l'assistance d'une caméra infrarouge (car il ne faut surtout pas aller toucher la tête du canon à électrons !)
copie-de-dsc_3290-3702503.jpg
copie-de-dsc_3290-3702503.jpg (58.95 Kio) Vu 7517 fois
Le poste de travail :
dsc_3286-3702526.jpg
dsc_3286-3702526.jpg (60.75 Kio) Vu 7484 fois
A gauche, le pilotage du MEB et l'acquisition d'images. sur l'écran du milieu, le pilotage de la sonde EDS, et les spectres d'analyse.
l'écran éteint, c'est la caméra infrarouge (qui ne peut fonctionner simultanément avec l'acquisition d'images).
sur mon PC portable, la photo de l'échantillon analysé, histoire de voir à quoi il ressemble en vraies couleurs (ça aide beaucoup pour les diagnoses)

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:15
par Pascal03
Beaucoup de monde dans la salle
copie-de-dsc_3287-3702194.jpg
copie-de-dsc_3287-3702194.jpg (51.08 Kio) Vu 7508 fois
De dos, Bertrand et Cici, puis Etienne, Fabien et ZM de profil.
ZM qui est reparti dépité : "c'est démoralisant, cette machine : tu as un truc, tu crois que c'est ça et en fait c'est autre chose....
comment tu veux mettre des étiquettes, après ?"

Cici aux taquets :
dsc_3293-37025eb.jpg
dsc_3293-37025eb.jpg (48.62 Kio) Vu 7488 fois
Pascal

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 12:16
par Pascal03
J'veux un MEB !!!

Pascal

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 18:15
par JMP76
Bonjour,
Merci pour ce reportage intéressant.
Je suis surpris de voir les faibles tensions: 20 KV max, ce n'est pas beaucoup. Les anciennes TV couleur allaient jusqu'à 25 KV (et -les premières- pouvaient délivrer des rayons X de 25 KeV sous les télé)
Pour satisfaire ton désir légitime, tu peux t'en construire un à l'aide de bobinages de caméra vidicon. Certains amateurs se sont lancés dans le projet... images plutôt anecdotiques.
Il y en a d'autres qui ont réussi la construction et la mise au point d'AFM (Atomic Force Microscope) avec des actuateurs piezo. Et ce n'est pas dur à faire si tu disposes d'une sonde...
On trouve des fêlés dans tous les domaines... (je tire mon chapeau!)
Cordialement

Re: MEB et microsonde

Posté : 19 févr. 2016 18:24
par Pascal03
Le MEB en lui même n'apporte pas tant que ça... ce qui est intéressant c'est la sonde EDS qui lui est associée.
Les tensions d'accélération peuvent monter à 25KV, et même au delà. Mais en travaillant avec des tensions aussi élevées on réduit la durée de vie des filaments tungstène (qui est déjà de l'ordre de quelques dizaines d'heures) et on augmente le bruit de fond des spectres EDS

Pascal

Re: MEB et microsonde

Posté : 24 févr. 2016 04:19
par Simbad
Bonjour

De belles images ici

https://www.facebook.com/shfkhsdfjhdsnf/

Re: MEB et microsonde

Posté : 15 mars 2016 23:10
par Fredlab
Pascal03 a écrit :J'veux un MEB !!!
Il y a cette annonce sur le bon coin
http://www.leboncoin.fr/commerces_march ... htm?ca=5_s
:D 8-)